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微振動量測與檢測

   振動有大小不同之分別,人無法感受的微振動只有靠精密量測儀器才可以測得到。高科技產業對於微振動的要求高於平常的環境標準,例如在半導體的製程朝40奈米(nm)進展時,日本已訂出在頻率 5~60 Hz的精密裝置其位移須小於0.1μm、加速度須小於0.1gal與一般裝置位移須小於0.5μm、加速度須小於0.5gal之嚴格 微振規範。為了增加晶圓片上產品的精度、密度與良率,這種嚴格的振動規格制定有其必要。

   微振動量測屬精密動態量測的範圍,對於量測設備的要求高於一般環境振動 量測設備的需求。資料記錄器與感應器之動態範圍選擇與頻率範圍選擇直接影響量測結果,量測參數設定如:取樣率、解析範圍、放大倍率、濾波設定…等等亦影響量測結果,這些量測設備的選擇與設定需靠專業的精密儀器與經驗豐富的測試工程師才能完成任務與收集正確資料。

   只有在正確的參數設定與儀器設備選用,才能測得準確的結果。否則不正確的資料將導致錯誤的判斷,造成時間與金錢的損失。

服務範圍

  1. 高科技廠建廠素地微振量測與分析
  2. 科技廠建廠期間各階段樓板微振動檢測與分析
  3. 精密設備與防振基座微振量測與分析
  4. 樓板微振問題診斷與檢測
  5. 精密設備微振問題診斷與檢測
  6. 長期微振量測與監測
  7. 結構體動態特性測試驗與剛性檢測
  8. 結構體振態量測與分析
  9. 基樁、卡車、高鐵、火車振動試驗
  10. 人員步行振動試驗
  11. 樓板振動傳遞試驗
  12. Stocker、AGV、Robot、幫浦、馬達運轉等振動試驗
  13. 管線振動試驗
  14. 沖床振動、施工振動試驗
  15. 地震振動監測、施工振動監測、設備振動監測

 

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